二手 LAM RESEARCH 4400 #9137680 待售

LAM RESEARCH 4400
ID: 9137680
Poly silicon etcher.
LAM RESEARCH 4400是一種用於半導體制造和其他材料沈積工藝的最先進的asher/etcher。4400憑借其先進的高精度技術,提供了卓越可靠的性能。LAM RESEARCH 4400具有LAM RESEARCH產品線的最新、最先進的特點,專為聚酰亞胺、氮化矽、金屬、介電層等多種材料的高效蝕刻和沈積而設計。它能夠處理直徑達6英寸的晶片。4400配備了專有的LAM開放群集工具體系結構,可實現靈活性、可擴展性和流程開發。這項獨特的技術通過優化過程參數,最大限度地提高了吞吐量並提高了最終產品質量。LAM RESEARCH 4400為先進材料的加工提供了強大可靠的平臺。它使用了包括先進的等離子體加工、多個氣體噴射器和多區氣體在內的幾種增強的蝕刻和沈積工具。這保證了出色的均勻性和控制性,以及各種材料的強大工藝。4400還為金屬和介電層的蝕刻和沈積提供了先進的工藝。LAM RESEARCH 4400的高分辨率特性使薄層、均勻層的生產和側壁質量得到改善。這進一步優化了產品性能和產量。4400是一種最先進的蝕刻器/asher,為半導體和其他材料的沈積過程提供先進的特性和性能。它在過程控制方面具有高度的靈活性,非常適合各種材料的蝕刻和沈積要求。憑借其先進的體系結構,LAM RESEARCH 4400為前沿半導體器件行業提供了卓越的工藝一致性和控制,以及強大而可靠的工藝。
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