二手 LAM RESEARCH 4400 #9292700 待售

LAM RESEARCH 4400是一款先進的生產蝕刻器/asher，旨在滿足最苛刻的微電子器件制造應用的需求。它采用雙光束等離子體增強型CVD （PECVD）技術，加上專有的氣體輸送設備。這種表面調節器提供了硬質電介質或微空腔的均勻且可重復的蝕刻或去除過程，並提供了高精度的等離子體抗蝕劑灰化。4400采用模塊化設計,可實現最大的靈活性和可擴展性。它的智能模式識別系統確保準確、統一的結果，同時它的大預包裝籃子允許操作之間方便和高效的轉移。這種蝕刻器/asher具有較大的源到基板距離,可提高壽命並提高磁場均勻性,從而實現高蝕刻速率和低蝕刻深度變化。此外，其可選的雙極調頻電源技術能夠去除緩慢擴散的聚合物和抗蝕劑。LAM RESEARCH 4400還具有自動和半自動晶片處理能力，便於快速加載、卸載和掩蔽。其直觀的基於Windows的用戶界面提供了可靠的通信和便利。4400能夠執行各種蝕刻和灰化應用，如MEM和NVM應用、SIR（同時進行氧化物蝕刻和去除）、聚柵極蝕刻、硬面膜開蝕、聚氧化物蝕刻、聚氧化物條、氧化物條、氧化物平面化、多孔蝕刻、多表面蝕刻和硬蝕刻。這種蝕刻器/asher提供了廣泛的配方功能,並允許可調節的步驟組合來調整暴露時間和氣流/壓力。此外,它還具有低流程組合成本、高吞吐量和改進的周期時間。為確保操作安全,LAM RESEARCH 4400提供了一個全面的監控單元,其中包括壓力、溫度和腔室清洗傳感器。這種蝕刻器/asher還為低溫氣體提供了可選的支持，並提供了高分辨率的鏡片機以實現對準精度。總體而言,4400提供了無與倫比的性能和工作效率級別,使其成為當今市場上最好的蝕刻/灰度系統之一。