二手 LAM RESEARCH 4400 #9311438 待售

LAM RESEARCH 4400 Asher是一種等離子體加工工具，設計用於在半導體晶片上產生蝕刻和沈積層及結構。該工具使用感應耦合的多射頻等離子體源和自動質量flow™氣體調節設備，以實現精確的氣體分配和無縫的過程控制。Asher可以使用各種氣體和配方，允許廣泛的定制和實驗。此外，4400還配備了一個強大的非接觸式紅外氣體監測系統，用於全面監測和實時過程控制。LAM RESEARCH 4400 Asher配備了x3x和x4x工藝套件，意味著它可以取出蝕刻沈積物和asher配方，用於功率放大。它有一個用於可重復和精確基板處理的加熱鎖載室，一個用於更寬晶圓處理的大加工室和一個用於快速周轉過程的小室。4400設計用於薄膜層的精確蝕刻、可靠的灰度和精確沈積。利用無角Plasma™和蝕刻補償控制蝕刻和沈積精度。該工具包括對峙單元和沈積監測器，以控制離子轟擊的流暢程度。它還包括一個突破性的塗層工藝，以消除聚合物堆積在蝕刻室的墻壁。LAM RESEARCH 4400具有氣體組成、壓力、射頻功率、射頻正向功率、射頻反轉功率、基板溫度、質量流、分室壓力、偏壓、基板偏壓等多種工藝參數。可以對這些參數進行微調,以提供最佳的工藝結果。4400 Asher還配備了自己的可選高分辨率蝕刻顯示器（HRES）,這是沈積顯示器的高級版本,進一步增強了該工具的功能。它可以實現盡可能高的蝕刻速率和精度,從而實現最高的層精度。LAM RESEARCH 4400 Asher旨在最大限度地提高性能和產量,並滿足當今苛刻的西晶圓加工的嚴格標準。Asher可以處理大小晶圓直徑，最大處理面積406mm。其可重復和精確的過程控制可以實現平穩、可靠和幹凈的結果。