二手 LAM RESEARCH 4400B #293747957 待售
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LAM RESEARCH 4400B是一種用於微電子學和半導體制造的蝕刻器/asher工具。它專門用於在多種基材材料如矽片和銅箔上曝光光刻膠。該工具通過利用先進的先進等離子體技術提供精確的蝕刻和蝕刻選擇性結果，提供了卓越的均勻性和可重復性。4400B 蝕刻器/asher具有創新的雙腔室設計，提供了最佳的等離子體控制和優越的工藝選擇性。該工具包括一個用於產生等離子體的上部入口天線室，以及一個用於實際蝕刻過程的均勻氣體輸送的下部淋浴室。天線室有一個6英寸的無味平面表面，以確保沒有屏幕均勻性問題。另外，上室有兩個電子環流源，它們是該過程的高頻交流電的來源。LAM RESEARCH 4400B的下室是過程均勻性的關鍵區域。淋浴室具有同心度調節特性，保證了蝕刻過程中氣體的均勻輸送。它還有一個吸聲系統，以減少蝕刻過程中的反射和噪聲。4400B 蝕刻器/asher配備高級過程控制軟件來控制蝕刻過程。它可以精確地進行各向異性蝕刻和選擇性區域蝕刻等高級工藝。該工具還可以進行等離子體摻雜，可用於改善基材的微觀結構和電性能。LAM RESEARCH 4400B工具具有高可靠性設計,是大批量生產的理想選擇。該工具設計為全天候運行,並提供卓越的吞吐量設計。該工具設計方便維護，具有模塊化等離子體源和低擁有成本。4400B 蝕刻器/asher是各種半導體和微電子制造應用的理想選擇。它旨在在不影響質量、一致性和成本的情況下提供卓越的工藝性能。
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