二手 LAM RESEARCH 4400B #293749164 待售

LAM RESEARCH 4400B Etcher/Asher是用於處理集成電路（IC）基板的半自動設備。4400B在各種制造過程中提供精確的化學傳遞和控制。它包括一個獨特的，多用途的設計，允許它作為一個蝕刻或灰化系統。LAM RESEARCH 4400B的主要組成部分是其獲得專利的垂直晶片級。該級用於保持和旋轉基板在可調的速度和角度，允許優化蝕刻和灰化結果。舞臺的設計也允許蝕刻工藝根據基板的要求量身定制。4400B配有用於測量基板均勻性的精確電阻和電容傳感器。此外，多區氣體歧管既能有效輸送氣體，又能精確控制蝕刻和灰化參數。LAM RESEARCH 4400B配有兩個運動控制系統，可完全控制基材的加工。第一種是沿垂直軸提供快速、精確運動控制的線性軌道單元。這可以實現出色的邊緣輪廓控制,並允許晶片級快速準確地移動到x軸和y軸的任何位置。第二運動控制機是一種旋轉級刀具，它允許晶片級在保持對基板輪廓和厚度的控制的同時精確快速地旋轉。4400B還配備了各種高級功能,使用戶能夠優化蝕刻和灰分處理。這包括執行隔離點蝕刻和深蝕刻輪廓的能力。它還包括一個高級軟件套件，允許用戶對自己的食譜進行編程，並將其存儲在數據庫中。此外,LAM RESEARCH 4400B還包括自動安全功能,如停電備份和互鎖資產。4400B Etcher/Asher是一個可靠和通用的模型，非常適合IC基板加工。其專利設計結合了精確的運動和氣體控制、先進的安全功能以及集成的軟件套件，使用戶能夠優化他們的蝕刻和灰燼工藝。它的靈活性允許快速和高效的基材加工，導致更高的產量和更低的成本。