二手 LAM RESEARCH 4400B #9145836 待售

ID: 9145836
晶圓大小: 8"
Etcher, 8".
LAM RESEARCH 4400B是一種高精度蝕刻器,適用於各種工業應用.這款強大的工具為客戶提供了最新的蝕刻和灰化技術,具有快速的蝕刻速率、高產工藝性能以及延長的耐用使用壽命。4400B利用可以同時運行的兩個獨立蝕刻和ashing進程。第一個過程使用在弧室中生成的等離子體在目標材料上創建蝕刻圖案。第二個過程使用定時反應性過程,該過程可以使材料變灰並剝離到所需的厚度。灰化過程中,物料沈積在腔室外,沈積速率受到嚴格控制,以確保均勻蝕刻。該機器通過均勻的蝕刻和灰化過程確保樣品的可重復性,采用堅固的陰極驅動電路將所需的電流水平傳遞到每個電池。這種均勻性可以通過車載計算機進行調整和監控。通過內置顯示器和各種軟件選項使數據采集和過程監測成為可能,用戶可以根據需要修改過程參數和進行實驗。LAM RESEARCH 4400B還提供可選的工藝補充。它包含了多種可用於提高蝕刻和灰化性能的高性能工藝源。此外,該機還能支持加熱和冷卻以增加控制程度。冷卻可以設置為高達40°C,以提高工藝的可重復性,而加熱控制則允許用戶在需要時將溫度從0-450°C快速調整。4400B旨在提供最佳的靈活性和易於維護。它具有易於更換的組件,允許用戶快速進行任何必要的維修或調整。此外,LAM RESEARCH 4400B還提供各種端口位置和配置,使機器能夠輕松適應各種要求。4400B為工業用途提供了一個全面的蝕刻和灰化解決方案。LAM RESEARCH 4400B從高精度的蝕刻和灰度到高度的靈活性和易於維護,是提供一致、可靠性能的完美工具。它易於編程,並確保可重復性,從而確保更高的過程產量和卓越的成本節約。
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