二手 LAM RESEARCH 4420 XL #9399006 待售

LAM RESEARCH 4420 XL 蝕刻器/asher是一種低成本的解決方案,可滿足許多蝕刻和灰化需求。該設備廣泛應用於半導體和MEMS行業的蝕刻和灰化工藝。它能夠處理高達6英寸（150毫米）的晶圓，最大壓力為100 Torr。對於低成本的系統來說，蝕刻速度和精度也相當令人印象深刻，因為它可以蝕刻，並且在300毫米/分鐘的高速下，標準化端點精度為每晶圓± 0.003英寸（0.08毫米）。LAM RESEARCH 4420XL是一個模塊化單元,這意味著它可以通過選擇特定部件（如氣源、氣體輸送系統和腔室）來針對用戶的特定需求進行定制。該機能夠用SF6、CF4、O2、CF4/O2、Ar和HBr等多種氣體進行蝕刻和灰化。它還具有幾種先進的蝕刻技術，如RIE、磁控管和OBIRCH，允許用戶根據自己的特定工藝需求定制工具。4420 XL還包括一系列高級工藝控制工具,包括自動調諧和基板匹配,這些工具有助於確保工藝配方得到優化。資產還包括兩個診斷工具，允許用戶監控蝕刻和灰燼過程，包括端點探測器和原位氣體分析儀。4420XL還具有許多安全功能,包括RF聯鎖模型,該模型可防止晶圓在不滿足某些條件的情況下被處理。此外,設備還配備了緊急停止按鈕和內置真空電源控制模塊,這有助於確保除非系統準備就緒且安全,否則不會執行任何過程。總體而言,LAM RESEARCH 4420 XL是一個出色的蝕刻器/asher單元,是一個可靠且經濟實惠的選項,可滿足許多蝕刻和灰化需求。