二手 LAM RESEARCH 4420 #9137679 待售

LAM RESEARCH 4420是一種最先進的蝕刻器/asher,用於滿足設備制造的最嚴格要求。4420是一種功能齊全的設備,具有集成的平臺,可容納一個過程室、排氣室以及所有必要的組件,用於過程控制操作。使用LAM RESEARCH 4420,用戶可以在基板上創建圖樣,而無需物理掩蔽或沈積材料。因此,4420是從原型制作到生產的各級制造的通用工具。LAM RESEARCH 4420工藝室包含許多功能,旨在確保基材的精確蝕刻。該腔室采用高溫公差設計，並配有CCD攝像頭，用於實時過程監控和分析。可以同時運行兩個獨立的過程，並且可以密封腔室以獲得最佳的半導體級真空。4420包含復雜的控制系統和加工氣體。控制系統由一個計算機控制的平臺組成，該平臺調節等離子體過程參數以及過程和清除氣體的流速。該裝置使用的工藝氣體包括碳氟化合物、氯氣、氟氣和氧氣，以及幾乎所有蝕刻應用的其他元素。LAM RESEARCH 4420 蝕刻器/asher還配備了先進的排氣系統。這減少了排氣機的顆粒物和化學汙染，最大限度地減少了有害物質向環境的釋放。4420的一個有效的安全特性是感應爐，它在任何工藝之前用於晶圓燒掉。這樣可以確保在蝕刻過程開始之前完全去除所有殘余薄膜。此外,刀具還具有溫度過高的關閉功能,如果晶圓溫度上升到危險水平,則該功能將停止該過程。LAM RESEARCH 4420 蝕刻器/asher在蝕刻過程中提供卓越的精度和控制。其高科技部件保證產品質量，安全特性既保護操作員又保護環境，廢氣資產保持大氣清潔。因此,該模型是各級設備制造的理想選擇。