二手 LAM RESEARCH 4420 #9198093 待售

LAM RESEARCH 4420 Asher/Etcher是一個高性能的幹蝕刻系統，旨在提供最佳的可重復性、過程控制和吞吐量。它配備了先進的功能，包括高速熱控制、蝕刻速率控制和原位清洗能力。它還為多個應用程序提供了自動化操作和流程靈活性。4420能夠加工各種基材，包括玻璃、聚酰亞胺和半導體晶片等。它配備了先進的石英蝕刻管，提供優越的溫度、壓力和均勻的流量控制。先進的蝕刻機制如雙等離子體模式、變頻功率控制和深度蝕刻的長脈沖持續時間，使得處理能力比單級蝕刻更大。LAM RESEARCH 4420的多室設計實現了各向異性和各向異性蝕刻。各向異性蝕刻模式采用三步蝕刻工藝，具有較好的蝕刻速率控制。它還具有優化的腔室設計,以確保一致的蝕刻性能.4420還具有不含氟氯化碳流體的自動清除系統,旨在確保高可重復性、過程控制和吞吐量。它配備了一個有效的真空系統，整個工藝室均勻。此外，LAM RESEARCH 4420還得到軟件的支持，該軟件允許數據采集、遠程診斷和編程多種應用程序的配方。它還具有一整套傳感器和診斷程序,可實現最佳的過程控制和質量保證。總體而言,4420是一款功能強大、經濟實惠的蝕刻器/asher,具有高級功能,可確保一致性、可重復性和過程控制。它還通過易於使用的界面和全面的客戶支持服務,為各種應用程序提供了快速的流程靈活性。