二手 LAM RESEARCH 4420 #9233411 待售
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LAM RESEARCH 4420是一種蝕刻灰泥設備,專為高效和生產性的等離子體蝕刻和幹灰工藝而設計。它能夠支持多達四個工藝模塊,為半導體生產的惡劣環境提供靈活、通用的配置。4420提供模擬和數字等離子體源,從而提高了過程控制和應用程序的有規律的可變性。LAM RESEARCH 4420也被修改用於高密度等離子體工藝,以及SiOF蝕刻和後灰清洗。4420具有節能設計,降低了能耗和運營成本。它具有大面積的流程模塊,可實現比同類系統更高的流程吞吐量。它還具有自動優化等離子體參數的智能子系統,提供了獨立於配方選擇的蝕刻結果的穩定性和均勻性。LAM RESEARCH 4420提供了廣泛的流程功能和完整的解決方案靈活性,從而降低了擁有成本。它可以容納多種基材和工藝,如單晶片或批次模式蝕刻、臺面蝕刻、多步蝕刻、條帶蝕刻、鈍化、模具升空、灰後清洗。憑借精確的特征識別和指揮,4420可以在AMS、IPE、RIE、Ozone、UV或UVPlus HiP-CVD等工藝中提供高速蝕刻。與以前的系統相比,LAM RESEARCH 4420提供了更好的模塊化和可擴展性功能,大大降低了復雜性並消除了昂貴的控制。其集成控制系統提供了增強的流程管理,允許復雜配方的實現可靠性和可重復性。在安全和環境性能方面,4420是為了滿足最嚴格的要求而設計的。它具有多種安全特性,包括多個排氣監測點和一個防火裝置。此外,該機設計為盡量減少維護和停機時間,符合SEMI S2和S8安全準則。最終,LAM RESEARCH 4420為當今嚴峻的半導體生產挑戰提供了靈活可靠的蝕刻和灰化。它提供卓越的流程性能和更高的生產效率,是現有應用程序和新應用程序的可靠選擇。
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