二手 LAM RESEARCH 4420 #9262592 待售

LAM RESEARCH 4420是為高通量、靈活生產或研究過程而設計的單晶片、批量asher或蝕刻器。4420平臺可實現高達15nm/min的蝕刻速率,並允許用戶執行各種專門的蝕刻過程,包括離子束蝕刻、黑矽蝕刻、抗蝕條和氧化物蝕刻。它提供了先進的過程控制和監控功能，並為精度、可靠性和過程重復性而設計。設備由幾個主要組成部分組成；一個緊湊的真空室，多氣體輸送系統，視線視覺單元，敏感器旋轉機器和控制器。真空室是由不銹鋼和鋁等材料構成的，這些材料經過了熱優化和結構優化以用於其應用。腔室設計以RIE（反應性離子蝕刻）工藝為中心,包括初級和次級蝕刻階段,以提高吞吐量。多氣體輸送工具使多種氣體能夠融入蝕刻過程。這樣可以在定義復雜的工藝配方時提供更大的靈活性。它還可以實現比單一氣體工藝更高的蝕刻速率。視線視覺資產是一種內置視覺硬件的光學顯微鏡，實時監控蝕刻過程並提供過程反饋，以確保過程的準確性和可重復性。磁感器旋轉模型使用變速能力的無刷直流電動機和RS-485控制器來優化整個晶圓的蝕刻速率均勻性。控制器是設備的大腦，負責控制過程變量，提供準確和可重復的結果。它具有直觀的觸摸屏界面、基於Windows的圖形用戶界面以及用於遠程訪問和數據檢索的以太網連接。LAM RESEARCH 4420是一種先進的蝕刻器/asher,能夠執行各種具有精確度、可靠性和過程重復性的蝕刻過程。其高吞吐量和靈活的工藝配方使其成為大批量生產和研究應用的理想工具。