二手 LAM RESEARCH 4420 #9401523 待售

LAM RESEARCH 4420 蝕刻器/asher是一種先進的汽相蝕刻和清潔工藝工具，旨在為敏感的半導體基板提供完美的輪廓和表面飾面。高效、經濟高效的系統具有多個等離子體源、精密基板處理、基板調理以及過程監控能力。4420 etcher/Asher是專門為解決半導體器件領域的成代復雜性所帶來的制造挑戰而設計的。LAM RESEARCH 4420 蝕刻器/asher采用了具有獨立反應性離子蝕刻（RIE）和遠程等離子體清潔（RPC）腔室的雙腔室設計。這為用戶提供了多種流程選項,使他們能夠調整流程參數以最佳地執行各種應用程序。該工藝室由多晶矽體和蓋子、不銹鋼襯裏和石英敏感器組成，並帶有鈦包覆電極。4420是一種低壓工具，工作在0.2-0.4 mTorr的底壓範圍內。LAM RESEARCH 4420還為最終開發人員提供工藝參數和配方開發的高級控制。可以定制工藝配方以滿足任何給定應用程序的特定要求。4420的先進系統控制實現了對蝕刻選擇性和速率、蝕刻深度和輪廓、攻角和目標表面光潔度的精確控制。LAM RESEARCH 4420中的RPC室可實現電介質和材料的低損壞蝕刻和清潔過程,並配備可選的端點檢測器以增強過程控制。4420也為用戶提供了獨特的好處。優點包括低能脈動和快速的溫度控制，使工藝室內的溫度均勻性更好，產量更高。LAM RESEARCH 4420還兼容了廣泛的食譜，簡單的用戶界面讓開發定制食譜變得輕松。4420是一款用途廣泛且可靠的蝕刻器/蝕刻器,具有廣泛的加工能力。這種先進的系統可確保最高級別的精確、可重復的蝕刻和清潔性能,為用戶提供完美無瑕的流程結果和較低的擁有成本。