二手 LAM RESEARCH 4428 #293750155 待售

LAM RESEARCH 4428是一種先進的、用於蝕刻和灰化半導體的高功率RIE asher/etcher設備。它能夠加工直徑不超過8英寸、厚度不超過4.5英寸的基板。該系統具有與多種材料和蝕刻化學的兼容性，具有廣泛的溫度、壓力和功率設置操作範圍。它還具有精確的過程控制和可重復的結果,確保產品質量一致和可靠的結果。該裝置采用渦輪風扇設計，在腔室和晶圓基板上提供均勻氣體分布的高性能蝕刻。這允許蝕刻速率高達8kHz,吞吐量為8-15晶片/小時,具體取決於所使用的蝕刻化學方法。內部射頻產生提供了在晶圓基板上均勻的功率分布和200-1700 kHz的可調頻率。它還具有自動頻率控制的數字調諧和精確過程控制的精確頻率鎖定功能。4428具有極精確的工藝控制和較高的蝕刻精度。它還具有精確蝕刻深度的自動校準、低離子散射和非均勻性以及自動均勻性校正等特點。該機還包括一個高精度壓力傳感器，使其能夠實現精確的過程壓力控制。它還具有一個獲得專利的過程氣體控制工具，確保準確氣流整個蝕刻過程。該資產利用高速無電極等離子體源，提供巨大的吞吐量，獨立於其圖樣基板，提供高吞吐量，以適應大批量生產運行。該源還能夠產生高度可控的等離子體特性，提供出色的過程控制和可重復性。LAM RESEARCH 4428還提供嵌入式RIE/asher模型，允許用戶充分利用其蝕刻功能。此設備允許用戶根據其特定的蝕刻要求定制其配方和工藝參數,從而增強了工藝控制和精度。此外,系統還包括通過基於Windows的GUI界面進行遠程單元控制,從而方便地訪問進程控制變量。除蝕刻外，4428還能灰化，為用戶提供完整的蝕刻和灰化機。此工具提供非常均勻的ashing結果,允許高產品產量和高效的過程集成。它還提供了廣泛的灰化化學選擇，允許加工各種材料。該資產包括一個數字羽流傳感器，它允許實時的過程監測和反饋，以確保質量灰度結果。LAM RESEARCH 4428是一款功能強大的高性能RIE asher/etcher機型,具有生產級的吞吐量和出色的蝕刻和灰度精度。該設備非常適合半導體蝕刻和灰化應用，為用戶提供精確的工藝控制和高產產品。