二手 LAM RESEARCH 4428 #9130367 待售

LAM RESEARCH 4428 蝕刻/asher設備是一種單室等離子體活化工藝工具，設計用於開發和制造下一代半導體芯片。4428 蝕刻器/asher系統使用先進的化學工藝，在廣泛的材料中，包括聚酰亞胺、多晶矽和氮化物層，創造出精確完美的蝕刻形狀。蝕刻的形狀範圍從簡單的蒙版和接觸層到更復雜的特征，如溝槽、插槽和階梯式特征。LAM RESEARCH 4428 蝕刻器/asher單元還提供直接等離子蝕刻工藝，以提高蝕刻結構的深度。4428測量剛好超過四英尺寬、四英尺深和三英尺高,並包含一臺C300 Plus控制器操作機器和一臺內置液晶顯示器。該單元通過其自成一體的工具提供了批量和單晶片工藝的靈活性。混合室設有石英淋浴臺，提供快速、可重復的均勻性。LAM RESEARCH 4428非常適合創建精確的過程控制,因為它與流行的光刻過程兼容。4428有多種內置的加工氣體以最大限度地提高蝕刻效果，如氯、氙和氮，還有一種真空控制資產來控制壓力和混合適量的加工氣體。LAM RESEARCH 4428還提供多種工程配置和室內材料,以及存儲工藝配方的功能,使用戶能夠重復配方並可靠地生產高質量的零件。4428還具有屏幕上的密碼訪問控制功能,可提供更高的安全性,並允許用戶查看流程參數、監控氣流以及控制來自中央觸摸屏界面的壓力級別。直觀的界面允許準確和方便的操作,以及用於詳細跟蹤和錯誤報告的完整數據記錄功能。總體而言，LAM RESEARCH 4428 蝕刻/asher是一種高度可靠和用戶友好的模型，可滿足廣泛的蝕刻需求。4428憑借其先進的處理能力、準確、可重復的結果以及易於操作，是尋求卓越控制和可重復效果的半導體制造商的完美設備。