二手 LAM RESEARCH 4428B #9302933 待售
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LAM RESEARCH 4428B是一款獨特的IO 蝕刻器/asher設備,結合了高性能處理和高級蝕刻功能。4428B用於濕蝕刻和幹蝕刻過程,是生產和維護半導體器件層的有力工具。LAM RESEARCH 4428B采用獨特的雙室設計,提供濕蝕和幹洗功能。經過驗證的PR4000控制器增強,可提供完整的對齊和定位精度。一個可選的冷卻系統既可用於批量操作,也可用於手動操作,並且在惰性大氣蝕刻過程中包括一個氮管線連接。該單元可以手動或自動運行模式操作,用戶友好的圖形界面使得用戶友好的操作。該機采用精密IVC(閥內控制)洗滌和實時蝕刻監控技術,實現了良好的工藝控制。腔室由易於清潔和維護的高品位、耐腐蝕的不銹鋼構成。它還配備了一個大容量輸送工具,提供多達5臺具有自動裝載能力的電平定位器。4428B包括一系列行業標準的安全功能,以確保人員安全,包括全面的接地電路、自動腔室清除功能和壓力監測資產。內置數據管理程序,提供過程記錄和存儲多達500個晶圓配方。LAM RESEARCH 4428B是高容量、高精度蝕刻的理想解決方案。它提供可靠的性能、可靠的安全功能,以及內置在緊湊設計中的高級過程控制功能。它是當今快速發展的半導體產業的理想工具。
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