二手 LAM RESEARCH 4450 #9226299 待售

LAM RESEARCH 4450是一種用於半導體材料中高縱橫比結構的深各向異性蝕刻的蝕刻器/灰化器。4450是一種通用蝕刻器/灰化器,能夠在濕法和幹法過程中進行蝕刻或灰化。它有一個數字石英控制器和高功率射頻發生器，用於精確控制工藝參數，以及多種工藝化學方法可供選擇。LAM RESEARCH 4450提供了多種優於手動蝕刻或灰化工藝的優點,包括高可重復性、精確控制和靈活性。它被設計成一個單一的工具，具有蝕刻或灰燼大部分半導體材料所必需的所有特征，包括矽、砷化移銨和磷化銨。4450還能蝕刻金屬、陶瓷、玻璃等材料。LAM RESEARCH 4450具有緊湊的設計和單一緊湊的入侵裝置,允許緊密的設計過程。它還配備了一個基於微處理器的控制器，能夠對蝕刻和灰化過程進行監控和參數設置。4450還有一個綜合排氣系統，用於處理過程中的任何氣態或氣溶膠副產品，還有一個真空泵，用於在兩次運行之間撤離腔室。LAM RESEARCH 4450的主要特點是它的高功率射頻發生器，它能夠對蝕刻和灰化參數進行精確和可重復的控制。它帶有多種工藝化學物質，可用於濕法和幹法中的蝕刻或灰化。頻率、脈沖寬度、占空比等參數均可精確調整，以實現優異的工藝控制。4450是一種多種材料中的高長寬比結構蝕刻或粉刷的通用工具。其緊湊、精密的設計使其成為深度各向異性蝕刻和灰化的可靠選擇。其數字控制器和射頻發生器能夠精確控制蝕刻和灰化過程，其多種化學特性為廣泛的應用提供了充分的靈活性。