二手 LAM RESEARCH 4500 #293600180 待售

LAM RESEARCH 4500是一種先進的蝕刻/刻蝕設備,旨在高效地在半導體基板上生產各種蝕刻圖樣,精確度高。這種蝕刻系統配備了先進的氣體輸送裝置，可以支撐多種氣體，包括SF6、O2、C4F6、NF3和C3F8。它還包括一個負載鎖定室和一個原位清洗室以及一個等離子體源，使用戶能夠在一個操作周期內執行蝕刻操作。該機具有廣泛的工藝能力，包括原位清洗、等離子體活化、蝕刻和表面鈍化。這是由於其-70°C至+300 °C的大加熱範圍，使其適合不同的材料，如Si、SiO2、GaAs和InP。此外,它還提供了對諸如溫度、RIE（無功離子蝕刻）功率、腔室壓力和時間等蝕刻參數的精細控制,從而能夠產生控制良好的縱橫比的精確蝕刻特征。4500提供卓越的晶圓吞吐量，得益於其高吞吐量的負載鎖室設計，使其適合大批量生產環境。該工具配備了多種安全機制，包括板載壓力監測資產和自動清除模型，因此提供了特殊的安全和環境保護。它還包括一個集成晶圓檢測模塊和一個隔離噴嘴，以減少過程引起的顆粒。此外,LAM RESEARCH 4500還提供廣泛的工藝分析和數據控制,使用戶能夠微調蝕刻工藝並實時監控結果。可選的Wi-Fi連接使得遠程訪問和控制設備成為可能，而集成觸摸屏顯示器則允許用戶直接與蝕刻過程進行交互。這樣就可以快速輕松地修改參數和監控結果,從而提高端到端流程效率。4500為各種生產環境提供了可靠且經濟實惠的蝕刻/刻蝕解決方案。其先進的設計、工藝能力和安全特性使其成為蝕刻和鈍化操作的理想選擇。