二手 LAM RESEARCH 4500 #9092962 待售

LAM RESEARCH 4500是一種濕式蝕刻/灰化設備,是一種用途廣泛且功能強大的機器,可滿足各種蝕刻和灰化應用的需要。該系統非常適合光掩模和標線制造、MEMS和集成電路（IC）生產。該裝置由一個閉環、自動化的加工室以及一個集成的石英容器構成。這樣可以確保整個過程中的溫度、壓力和蝕刻/灰化化學保持精確。這種復雜的閉環工藝還有助於確保過程可重復性保持較高的水平,從而使4500成為任何生產線中的可靠產品。該過程可以根據客戶的確切規格進行調整,從而為各種應用程序提供更高的吞吐量要求。LAM RESEARCH 4500 蝕刻器/asher具有多種功能,可增強流程一致性和性能。它具有氣動控制蝕刻氣體和灰化氣體的獨立隔離氣體輸送系統，以及對蝕刻/灰化過程進行精確溫度控制的液體輸送機。這樣可以確保每個蝕刻/灰化周期盡可能精確可靠,從而使客戶更容易獲得所需的確切結果。此外,該工具還利用一系列高級集成診斷工具來實現快速、輕松的過程監控。這有助於確保蝕刻/灰化過程在整個生產運行過程中保持準確和可重復。資產還包括高頻線圈模型，允許客戶進行精確調整，以確保任何蝕刻/灰化過程的理想結果。總體而言,4500蝕刻器/灰化器是一種用途廣泛且可靠的蝕刻/灰化設備,非常適合各種光掩模和標線制造、MEMS和IC生產要求。它具有精確的過程控制、卓越的過程監控以及高度可定制的過程設置,使其成為任何生產線的絕佳選擇。