二手 LAM RESEARCH 4500 #9137678 待售

LAM RESEARCH 4500是一款高性能的蝕刻器/asher，專為熱和非熱蝕刻工藝而設計。它采用了獲得專利的雙單極泵（DMP）技術，能夠對苛刻的材料如砷化​​的脫硫進行低壓幹蝕。4500的腔室尺寸為600mm X 450mm X 400mm，並配有氣動直線快門定位系統，將快門穩固定位，進行精確的局部蝕刻。系統還有一個自動對準的機器人手臂，帶有兩個手動附著點，可以容納高達150毫米的晶圓大小，允許精確和可重復的蝕刻。LAM RESEARCH 4500設計為提供高度可靠和可重復的蝕刻。它具有獨特的雙單泵浦（DMP）技術,允許在單個工藝步驟中同時進行Monova （EiM）蝕刻和復雜蝕刻型材的反應性離子蝕刻（RIE）。這使用戶能夠在較低的壓力下實現較高的蝕刻速率,從而降低材料消耗並縮短加工時間。4500還配備了集成源加熱器控制器,可以精確控制源溫度,從而最大限度地減少材料消耗,並最大程度地減少過程重復性的損失。除了DMP之外，LAM RESEARCH 4500還具有高密度等離子體（HDP）和端點真空（EPV）等附加技術，以改善蝕刻效果。HDP產生尺寸很小的高離子化等離子體，以從腔室中提取更多的離子，導致更高的蝕刻速率和改善的均勻性。同時，EPV確保蝕刻室快速泵送到所需的真空壓力，從而減少基板表面的不均勻蝕刻。4500專為安全高效的操作而設計,具有直觀的點擊用戶界面。該系統主要用於制造復雜的微電子器件，如邏輯、內存和射頻組件。它為各種類型的材料提供了可靠的、高可重復的蝕刻工藝，其中包括砷化氙（GaAs）、矽（Si）、矽氙（SiGe）和矽在絕緣體上（SOI）。