二手 LAM RESEARCH 4500 #9226300 待售

LAM RESEARCH 4500是一種用於半導體晶片各向同性和各向異性蝕刻的蝕刻器/asher設備。它是融合了機器人技術和濕法化學工藝等先進技術的尖端設備。4500的腔室尺寸為36英寸,額定功率為500瓦,可在各種生產環境和蝕刻要求下提供出色的性能。該系統有兩個工藝室：預蝕刻室，在該室進行沈積和化學蝕刻；和蝕刻室，其中晶圓被放置在一個各向同性蝕刻場。除了提供可靠蝕刻的安全環境外，該單元還提供原位射頻蝕刻源、原位清洗機、氣體歧管、自動晶圓處理工具等其他組件。該資產被設計用於矽片的高性能蝕刻，以及砷化氙（GaAs）和其他半導體。可以定制蝕刻輪廓以優化精度、速度和復雜性。通過使用自動化過程和原位射頻蝕刻源,模型提供了加工工程師所需的性能和可靠性。LAM RESEARCH 4500能夠在250°C（482 °F）至650°C（1202 °F）的溫度範圍內運行。它還利用先進的工業運動系統提供準確的結果，提供可重復的性能。該設備包括陶瓷/金屬/塑料室，以抵抗晶片的任何潛在汙染。最後，4500的綜合過程監控系統為生產環境提供了可靠性和跟蹤。此單元簡化了數據收集過程,從而使工程師與機器之間的通信更加快速輕松。LAM RESEARCH 4500為半導體晶片的各向同性和各向異性蝕刻提供了快速、準確和可靠的解決方案。