二手 LAM RESEARCH 4500 #9298520 待售

LAM RESEARCH 4500是來自LAM RESEARCH Corporation的先進等離子蝕刻設備。它是一種技術先進的高速蝕刻系統，用於溝槽蝕刻、精細圖案、閘門蝕刻、高長寬比蝕刻等先進蝕刻工藝。該單元使用針對應用程序的特定需求量身定制的創新技術。其功能包括高生產率、靈活性、可靠性和易用性。該機具有先進的蝕刻室，可支撐各種基材和材料。它具有優化的工藝均勻性，提供卓越的晶片質量。該腔室的設計提供了一個多功能、可調的平臺，可以同時容納高溫和低溫蝕刻過程。腔室還支持O2、CO2、N2、Cl2等多種氣體，非常適合各種材料。該工具配備了多項優化蝕刻性能和吞吐量的先進技術。它采用高性能電子回旋共振（ECR）離子源和離子束聚焦來控制蝕刻輪廓、側壁角和線寬。它還具有集成的現場過程監控、自動過程調整和控制以及直接采樣功能,以實現準確的故障檢測和過程優化。該資產由基於Windows的集成控制器提供支持,能夠連接到工業自動化模型。它得到了一個全面的文檔包以及來自流程和環境監視器的實時反饋的支持。綜合用戶手冊包括安裝、維護和服務說明,以及操作、結果分析和故障排除說明。4500旨在在要求最苛刻的蝕刻應用中提供卓越的性能。它是用最具成本效益的資源生產盡可能高的產品產量的理想工具。對於那些尋找高性能蝕刻設備的人來說，LAM RESEARCH 4500提供了無與倫比的性能和優異的效果。