二手 LAM RESEARCH 4500 #9311439 待售

LAM RESEARCH 4500蝕刻/灰分設備是一種全自動、超高精度的蝕刻/灰分系統,能夠生產具有單一工藝步驟和視線晶片跟蹤的高質量晶片。該單元的設計具有顯著的靈活性，可在一個過程中完成多達四個處理步驟。該機器有兩個工作站，每個工作站都包含蝕刻鐵磁材料源和電光室，該電光室包含一個高軸內壓板，可執行各種處理操作，包括化學氣相沈積（CVD）和原子層沈積（ALD）。它支持基於配方的晶圓加工,包括標準、高密度和分層技術,溫度可達30 °F。該工具還具有帶有化學分配器和快速作用控制旋鈕的終端效應器，能夠快速、精確地控制蝕刻時間、溫度和壓力。4500蝕刻/灰分資產利用單處理器、微型蝕刻工具和雙面光控晶片處理的獨特組合,提供卓越的精度和可重復性。該型號還具有快速的晶片到晶片傳輸速度和靈活的前端平臺,可實現高效、準確的處理。該設備的高精度是其註重尺寸穩定性、水平均勻性、熱管理、傳感器精度和過程控制的結果。該系統非常適合蝕刻/灰化過程,因為這些過程對於可重復和專用的過程都需要卓越的一致性和可重復性。它能夠生產具有單工藝可重復性的高質量、高精度晶片產品，是需要高精度和監控的應用的首選單元。