二手 LAM RESEARCH 4500i #9250092 待售

LAM RESEARCH 4500i是專門為先進的半導體器件制造而設計的幹蝕刻器/灰化器。它采用三種蝕刻技術----等離子體增強型化學氣相沈積（PECVD）、反應性離子蝕刻（RIE）和電感耦合等離子體（ICP）的獨特組合，在基材上實現了廣泛的蝕刻輪廓。這種通用的蝕刻工具可用於金屬閘門中的溝槽和接觸蝕刻、用於STI的墊片蝕刻、大馬士革和用於互連的介電蝕刻、晶圓修剪和背面蝕刻應用。4500i具有多種晶片尺寸,尺寸可達200 mm,基板溫度可達300 °C。LAM RESEARCH 4500i是一種非常先進的蝕刻系統,具有許多明顯的優點.它包含了廣泛的技術特點，包括集成了快速四極質譜儀（QMS）、最大載荷可達26晶圓的大型石英室以及各種可用於蝕刻的工藝氣體。液晶屏控制的多氣體動力供應系統獲得了動態過程的最佳工藝條件，內置的高性能快速冷卻等離子體（RPC）發電機最大限度地減少了不需要的功率超調，最大限度地提高了工藝控制。此外,4500i還配備了壓電調鎖（PTL）技術,在高縱橫比特性上具有卓越的工藝重復性。LAM RESEARCH 4500i是先進半導體制造的首要蝕刻/灰化工具。其令人印象深刻的一系列特性和功能提供了卓越的過程穩定性和控制,從而在更短的時間內實現了更高質量的設備制造。高度先進的過程監測和本地排氣系統確保安全和清潔的處理操作。4500i具有多氣體動力供應系統和壓電調鎖技術，是一種先進的器件制造必須具備的蝕刻和灰化解決方案。