二手 LAM RESEARCH 4500iB #9226623 待售

LAM RESEARCH 4500iB
ID: 9226623
晶圓大小: 6"
Oxide etcher, 6".
LAM RESEARCH 4500iB 蝕刻器/asher是一種高性能的工具,用於半導體工業中的一系列蝕刻和灰化過程。它能夠高速處理大模具,具有極好的可重復性和準確性。4500iB利用最先進的技術提供最高效、最可靠和最具成本效益的性能。LAM RESEARCH 4500iB采用電子回旋共振(ECR)等離子體蝕刻工藝,采用高頻(35 MHz)射頻發生器和高真空室,設計用於快速離子通電和傳輸。它還具有頂載熱壁爐,以提供幹燥氧化過程。4500iB設計用於處理高蝕刻速率,可以精確控制蝕刻參數,同時在整個晶片上提供卓越的均勻性。LAM RESEARCH 4500iB具有可變電源,使用戶能夠針對不同的晶圓應用定制其蝕刻過程。除了蝕刻和灰化,4500iB還具有冷卻氣體系統、動態溫度控制、集成自動檢測等幾個特點。自動檢測系統實時檢測和記錄過程參數,提供對蝕刻過程的詳細了解。該系統在驗證蝕刻結果和排除操作過程中可能發生的任何問題方面特別有用。LAM RESEARCH 4500iB的直觀圖形用戶界面和自我診斷,以及LAM RESEARCH技術支持團隊的協助,也非常方便用戶。它旨在提供可重復的性能,並有助於在各種沈積批次上保持過程一致性。總體而言,4500iB蝕刻器是一種功能強大且用途廣泛的半導體加工工具。它提供了多種功能來滿足任何蝕刻和灰化工作的需要,並且能夠以具有競爭力的價格提供卓越的蝕刻質量和準確性。
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