二手 LAM RESEARCH 4500iB #9250093 待售

LAM RESEARCH 4500iB是一種高端蝕刻器/asher設備,專為對小型、精確的幾何特征（如集成電路的接觸窗）進行高精度蝕刻而設計。該系統配備了各種自動控制和蝕刻工藝選項。該機組集成了水平反應堆級與單片加熱器，以及先進的控制電子和運動控制軟件。該機專為薄膜和厚膜技術而設計，可配置復雜的長寬比。該工具支持使用各種蝕刻化學方法的正面和背面蝕刻技術，包括CF4、氧氣、氙氣、CHF3和氟化氫。該資產占地面積小,設計輕巧,可輕松集成到現有的制造系列中。該模型的高精度運動控制設備能夠以高達0.1 µm的分辨率和高達每秒1000步的速度控制線性和旋轉運動。該系統能夠提供幹凈、無氧化物的表面,蝕刻深度可達1 µm。對於自動化功能,該設備配備了自動端點檢測機,用於監視蝕刻進度,並在預定的蝕刻深度或其他工藝條件下停止蝕刻過程。4500iB還具有先進的過程監視包,該包由眾多傳感器組成,用於監視過程參數,如壓力、溫度、電壓和電源。可以記錄這些數據,以便立即或在處理後進行檢查。該工具還包括自動「零點切斷」功能。此功能可確保在電氣連接中斷時蝕刻過程自動停止。這樣可以確保蝕刻過程不會無限期地繼續下去,從而防止晶圓受到熱損壞。資產還配備了自動晶圓裝卸模型，方便快速方便的晶圓交換。最後，該設備采用直觀的圖形用戶界面，便於流程參數編輯和監控。這允許更快的設置和轉換時間,從而減少了對操作員幹預的需求。總之，LAM RESEARCH 4500iB是一個功能強大的蝕刻器/asher系統，適用於小幾何特征的高精度和自動蝕刻。