二手 LAM RESEARCH 4520 XL #293625775 待售

LAM RESEARCH 4520 XL是一種最先進的蝕刻器和灰化器，旨在實現先進微電子材料的精確和可重復處理。適用於多種材料和工藝，從壓電晶體到復合半導體。LAM RESEARCH 4520XL在長達200毫米的6「或8」晶片上提供快速、高效的處理,不會造成晶片斷裂,從而實現超高吞吐量,而不會犧牲生產力或重復性。4520 XL使用先進的蝕刻和灰化技術來實現可靠和可重復的處理。它的高精度控制系統最大程度地減少了可變性,並提供了對確定良好蝕刻或灰化性能的參數的精確控制,從而確保了可重復的結果。4520XL完全可編程,可以輕松設置、調整和微調參數,以符合工藝要求。LAM RESEARCH 4520 XL具有高功率密度等離子體源，在蝕刻和灰化應用方面具有更大的靈活性。它還具有變頻電源,可提供高達24kW的峰值功率級別,具有0-1000V源電壓範圍和0-10A源電流範圍。即使使用具有挑戰性的材料,此功率範圍也可實現快速、高效的蝕刻和灰化。LAM RESEARCH 4520XL配備了高精度位置傳感器設備，保持樣品位置精度，確保可重復結果。它還包括一個高效的氣體輸送系統和一個帶有自動泄漏檢測機的綜合氣體管理單元。4520 XL還配備了自動化清潔工具,能夠在用戶幹預最少的情況下實現多個清潔周期。該資產還具有石英加熱器、晶圓溫度傳感器和可編程晶圓旋轉等可選功能，以實現高質量的清潔性能。4520XL易於操作和維護,板載顯示器清晰易懂。它被設計為可靠、高效的蝕刻器和灰化器，非常適合大批量生產以及更復雜的研發過程。