二手 LAM RESEARCH 4520 XL #9292773 待售

LAM RESEARCH 4520 XL Asher/Etcher是一款設計用於半導體行業的高度先進的設備。它是一種雙室設備，非常適合幹濕蝕刻工藝。此系統的典型任務包括金屬蝕刻、擴散處理和晶體蝕刻。該單元可用於沈積和蝕刻矽、鋁等金屬合金，精度和精度都很高。LAM RESEARCH 4520XL利用獨特的等離子體工藝精確控制蝕刻深度，實現了廣泛的應用。其先進的內置能力，如等離子體脫粒和金屬電阻退火，使得它更容易創建復雜的產品結構。該機還具有靈活的腔室設計，可以處理大量材料。4520 XL有多個高級反饋和控制系統,可以對整個過程進行監控。這包括晶圓物理和化學狀態的實時可視化，以及運行全範圍過程模擬的能力。這使得維護每個蝕刻作業的一致性以及更快的周轉時間變得更加容易。此外，4520XL還有一個集成的基於激光的珠形分析工具，用於測量蝕刻深度和寬度。這樣可以精確控制蝕刻深度,如果需要,可以改善基板輪廓。該資產還利用三層遠程監視功能,使用戶能夠遠程訪問模型的現場數據,從而更輕松地排除流程問題。LAM RESEARCH 4520 XL還提高了對流程變更的適應性,並擴展了每個作業期間微調參數的配方選項。這有助於優化蝕刻過程並產生有價值的結果。設備還具有內置的邊緣排除功能，有助於節省去除邊緣所花費的時間和金錢。總體而言，LAM RESEARCH 4520XL是一個高度先進的蝕刻系統，旨在滿足半導體行業的嚴格要求。憑借其強大的設計和先進的控制能力,該設備可實現快速準確的結果,使其成為任何工業運營的寶貴資產。