二手 LAM RESEARCH 4520 XL #9374770 待售

LAM RESEARCH 4520 XL是一種用於高級介電蝕刻和淺層晶片清洗的蝕刻/灰分設備。它旨在以無與倫比的精度、速度和可重復性執行高精度的蝕刻和清洗過程。該系統配備了雙摩擦驅動垂直直線級，以確保晶片在加工過程中的高精度和一致對準。該蝕刻器/asher配備了一個光學單元，提供可靠的過程數據分析和控制。此外，LAM RESEARCH 4520XL能夠同時處理多個晶片，非常適合大批量生產應用。蝕刻器/灰化器裝有氫基等離子體發生器，能夠進行氧基蝕刻或灰分操作。發電機裝有靜電卡盤（ESC），可以保持和精確定位晶片，確保均勻蝕刻質量。此外,發電機還具有增強型介電蝕刻（EDE）功能,可提供高度精確的蝕刻功能。此外，發電機裝有基板徑向輸送站（SRDS），以確保最佳和一致的晶圓處理。晶圓可以以每小時30個晶圓的最高速度通過機器加工，並經受持續監測的石英溫度，確保高質量的結果。4520 XL旨在為最具體的流程需求提供卓越的性能。它具有板載、智能的過程控制和完整的過程序列創建功能。它還配備了無與倫比的診斷功能，讓用戶的工具性能最大化。此蝕刻器/asher還可以輕松地與批處理管理系統以及流程隊列集成。資產還配備了全面的配方創建和管理工具，以幫助用戶以每片或每批次的方式創建和管理配方。4520XL是一個可靠、準確和可靠的蝕刻/灰分模型,能夠提供最高質量的結果,同時以極具競爭力的價格提供最佳效率。它非常適合半導體、太陽能和硬盤驅動器制造等多種行業的高精度和高容量生產應用。