二手 LAM RESEARCH 4520 XLE #293825710 待售

LAM RESEARCH 4520 XLE是一款針對各種半導體蝕刻和灰化應用的最佳性能而設計的蝕刻器/灰化器。該單元支持廣泛的底物，並且與工業中許多現有的化學和工具選項兼容。4520 XLE設備專為快速吞吐量而設計，典型周期時間在2至5分鐘之間，使其每小時可處理多達500個晶圓。該系統能夠運行各種氣體，如CF4、SF6、NF3、O2和其他化學物質。LAM RESEARCH 4520 XLE由堅固的組件構成,以確保其整個生命周期的穩定性能。它采用水平安裝的電拋光不銹鋼腔室和石英淋浴頭，具有優異的蝕刻均勻性。蝕刻器連接到中央控制面板,該面板允許配置和控制蝕刻和灰化參數,包括溫度、壓力、氣流和晶圓偏置。該單元還包括腔室溫度和壓力傳感器、氣體關閉閥和聯鎖機等安全功能。4520 XLE具有快速清理和晶片加載站,旨在最大程度地減少停機時間,並使解決方案更改變得快速、輕松。由於自動進行資產診斷和故障排除，該室可以迅速撤離，並且能夠以最小的停機時間維護該工具。該模型旨在產生最小的汙染，使其成為關鍵蝕刻和灰化應用的絕佳選擇。LAM RESEARCH 4520 XLE是一種用途廣泛、可靠的設備,非常適合工業和研究應用。它擁有卓越的性能,堅固的結構,以及快速輕松的維護過程。該裝置結構可靠、高效，為優化蝕刻和灰化效果提供了穩定穩定的平臺。