二手 LAM RESEARCH 4520 XLE #9172983 待售

LAM RESEARCH 4520 XLE是一種極可靠的asher/蝕刻設備。該系統非常適合半導體制造、醫療設備元件、汽車傳感器和光學元件等應用。4520 XLE提供了靈活性和覆蓋多個過程區域的能力。LAM RESEARCH 4520 XLE以其低調、開放的架構設計提供了用戶友好的體驗，使單片、中型批量、大面積的工藝配方成為可能。該單元具有多腔操作功能，允許用戶在灰分、原位計量和其他過程之間主動切換。該機還具有易於配置的電氣模擬器平臺，使其高效、準確。4520 XLE通過直列式濕蝕刻工藝提供了卓越的生產率,並且能夠處理每個卡帶多達8個晶圓進行批處理。該工具具有獨特的集成掃描對齊器資產,能夠達到100%的利用率,使其能夠持續監控和清潔蝕刻表面。該模型還包括一個預先規劃的腔室組件布局，以確保便於腔室進入。LAM RESEARCH 4520 XLE具有很高的可靠性，其PVD沈積陶瓷塗層提供了長期的使用壽命。這種塗層耐腐蝕，不會受到長時間暴露於苛刻化學物質的影響。此外，該設備還具有自動晶片負載鎖和冷卻器氣密穿孔系統，可降低因意外夾雜而導致腔室拒絕的風險。而且4520 XLE有一個集成的診斷單元，提供實時性能分析和過程故障分析。此外,該機器還具有模塊化設計和強大的分析套件,允許用戶配置和監控刀具性能和工藝趨勢。集成分析平臺實時提供完整的流程和設備數據。總之,LAM RESEARCH 4520 XLE是一種高度可靠的灰度/蝕刻設備,具有卓越的工藝靈活性和生產效率。該模型具有模塊化設計、高級診斷和強大的分析平臺，使用戶能夠準確有效地監控和配置設備。該系統非常適合各種應用，包括半導體制造、醫療設備元件、汽車傳感器和光學元件。