二手 LAM RESEARCH 4520 XLE #9173004 待售

LAM RESEARCH 4520 XLE是一款專用於處理高級邏輯器件的高級蝕刻雙磁控管蝕刻器/asher。系統提供兩種處理配置選項：批處理或半連續處理。該機設計用於處理先進設備中的完全蝕刻層和部分蝕刻層。蝕刻器的分批處理使其非常適合先進的設備處理，並對所需的結果提供卓越的均勻性、原子移動性和完整的過程控制。該系統配置了一個自動化、脈沖、雙磁控管蝕刻器和asher,可提供卓越的脈沖特性和卓越的均勻性,包括可調節的時基配置,以確保所需的結果。4520 XLE還包括一個先進的晶片盒式磁帶，它在處理過程中提供方便的水平訪問晶片，使其更加高效和易於維護。與其他工業蝕刻系統相比，該機的設計極其可靠，具有卓越的工藝重復性和均勻性，並提高了工藝產量。LAM RESEARCH 4520 XLE也是高度可配置的。它具有最先進的功能,可提供多種用戶選擇的工藝參數,包括蝕刻速率、壓力和極性、選擇性和吞吐量。該機設計方便快捷維護，可容納一系列維護工具和更換部件。此外,4520 XLE還配備了高級安全功能,有助於確保用戶數據的維護和安全。LAM RESEARCH 4520 XLE是任何先進設備處理項目的理想選擇。其可靠的性能、卓越的均勻性和工藝控制選項,以及處理完全蝕刻和部分蝕刻層的能力,使其成為理想的解決方案。