二手 LAM RESEARCH 4520 XLE #9188552 待售

LAM RESEARCH 4520 XLE是一種設計用於研究實驗室和生產設施的高性能蝕刻或灰化儀器。XLE采用先進的雙板驅動設備,為低溫蝕刻提供了卓越的精度、準確性和可重復性。其極端的低溫蝕刻能力，加上進行變速蝕刻的能力，使得它非常適合用於研究和生產應用的蝕刻基材。直觀的用戶界面允許精確的程序設置和系統監控，而集成的實時氮（N2）控制單元則確保了過程的可重復性。XLE的專有控制機器和多級等離子體控制算法允許精確的蝕刻控制。在蝕刻過程中，它的多個夾緊系統提供了精確、精細的基板對準。XLE提供了多個測試臺選項,允許用戶配置該工具,以便在不同的基板上執行蝕刻或灰化過程。集成的數據采集和監控資產允許用戶在蝕刻過程中確保可重復的條件，而電弧檢測模型則確保蝕刻過程中的安全和質量控制。除了其雙板驅動設備外，XLE還具備多項附加功能，使性能最大化。它的模塊化設計使得它可以很容易地集成到現有的系統中，其集成的真空控制系統確保了室內的精確壓力和流量。XLE配備了大功率紅外成像單元，允許在整個過程中進行精確的溫度控制。此外,XLE還提供了一個遠程診斷機器,用於監視腔室內的狀況。4520 XLE是一種先進的蝕刻和灰化儀器,具有卓越的精度、準確性和可重復性。其先進的雙板驅動工具可實現精確的蝕刻控制，集成的實時氮氣控制資產可確保過程的重復性。它的模塊化設計使其能夠輕松集成到現有系統中，而其紅外成像和電弧檢測系統則確保了準確和安全的蝕刻。遠程診斷模型提供對腔室狀況的實時監控，允許精確控制。