二手 LAM RESEARCH 4520 #293595659 待售

LAM RESEARCH 4520是一種由單晶片、低壓、等離子體活化組成的蝕刻器/灰化器，能夠蝕刻或灰化一系列材料，包括電介質、聚酰亞胺、玻璃、金屬和矽。它是一種緊湊的設備,具有6英寸晶圓尺寸的容量,可提供高精度、可重復性和過程靈活性,以減少設備的昂貴和耗時的更改。該系統具有低壓、等離子體活化過程，旨在減少表面汙染，提供高質量、各向異性的蝕刻速率和深度均勻性。4520也是一個節能單元，並配有閉環過程控制機，以確保蝕刻過程的完全均勻性和控制性。此外,它還包括用於高性能蝕刻/灰分循環和/或等離子體處理的高功率微波源。該工具包含的專用DART（動態蝕刻速率控制）技術旨在監測和控制蝕刻進行的速率,通過蝕刻過程穩定等離子體和均勻性。這樣可以確保無論工藝要求如何,都能創建最高質量的部件。此外,CPV（閉環過程驗證）功能允許快速、輕松地采用新配方,加快資本回報和整體過程優化。該資產能夠處理各種晶圓類型以及各種材料，允許不同的蝕刻和灰度等級。用戶友好的GUI允許根據客戶的應用程序要求定制蝕刻/灰分配方。蝕刻器/asher可以在批處理模式或連續模式下使用。LAM RESEARCH 4520以極具競爭力的價格提供卓越的通信和支持服務,確保客戶的最高滿意度。