二手 LAM RESEARCH 4520 #9029521 待售

LAM RESEARCH 4520是一個最先進的蝕刻師和asher。它是一系列高級蝕刻和灰燼工具的一部分,可為制造商提供對其工藝的精確控制。4520是一種幹燥、正蝕刻設備，意味著材料被氣體驅動的等離子體源去除。它能夠在多種材料上高精度地產生精確的特征，對特征、深度和表面光潔度進行精確的控制。LAM RESEARCH 4520具有模塊化設計,在此過程中具有很大的靈活性。它可以配置用於廣泛的蝕刻和灰化應用,包括化學/機械拋光（CMP）、掩蔽/揭蔽、微結構和快速熱處理（RTP）。它還具有處理各種基材形狀和尺寸的能力，使復雜設備的生產過程均勻。4520具有集成的過程控制系統,可精確控制所有因素,包括過程的時間、溫度和壓力。這使得在生產過程中實現高質量並有助於減少缺陷成為可能。該單元還具有多區域He-Ne激光幹涉儀，可以精確測量基板位置。LAM RESEARCH 4520還包括高級安全功能,如必要時停止過程的故障安全機器。該工具還包括各種診斷功能,包括實時成像,用於檢查流程參數和區域。這有助於確保流程的一致性和可重復性。最後，4520是一種先進的蝕刻和灰化器，為制造商提供了對其蝕刻和灰分工藝的精確控制。它的模塊化設計和先進的過程控制資產為生產復雜和高質量的設備提供了極大的靈活性。它還具有診斷功能和安全功能,以確保生產過程中的質量一致。