二手 LAM RESEARCH 4520 #9029728 待售

LAM RESEARCH 4520 Asher/Etcher是一種先進的、精確的真空晶片加工工具，用於制造集成電路和其他電子設備。該設備能夠生產多種材料，如聚矽、聚酰亞胺、鉻、低k電介質和摻雜氧化膜。4520采用一個蝕刻系統，該系統具有非常快速和精確的掃描罐，加上一個運動控制單元，可以進行精確和可重復的過程。掃描罐包括高速惰性氣體，保證了良好的重復性、均勻性和吞吐量。LAM還具有兩級等離子體光源，具有快速而堅固的蝕刻，低溫感應濺射、深各向異性蝕刻和優良的去磨質量。等離子體源非常緊湊，具有可變功率，可用於一致和可重復的過程。LAM RESEARCH 4520還具有可調基板溫度控制機，在整個晶圓加工周期提供精確的熱管理。一個集成的隧道淋浴允許快速處理時間，同時提供高效的冷卻和溫度控制。該工具還提供了一些可選的工藝增強選項，如惰性氣體壓力監測和等離子體表征以及蝕刻潛能監測。4520還內置了用於監測資產性能和提供各種流程參數實時反饋的軟件。這樣就可以不斷監測、調整和優化過程,以最大限度地提高最終產品的產量和質量。此外，軟件為各種蝕刻工藝提供了配方，為每個要執行的單個工藝提供了理想的條件。LAM RESEARCH 4520是為生產先進集成電路和其他微電子器件而優化的精密蝕刻和灰化工具。該模型設計用於各種材料的快速、精確處理，利用兩級等離子體源提供快速和深度蝕刻以及優異的去薄性能。可調基板溫度控制設備和集成的隧道淋浴為高達6英寸的晶圓提供了理想的環境。各種流程增強選項提供了一個可重復、可靠和高效的流程。集成軟件提供實時反饋和過程優化,以確保最終產品的產量和質量。