二手 LAM RESEARCH 4520 #9145513 待售

LAM RESEARCH 4520是一款為生產半導體器件而設計的健壯等離子體蝕刻器/asher。該設備配備了一個單室，允許高效和可重復的蝕刻過程。該工藝室采用金剛石-金屬混合屏蔽設計，能夠實現低功率和高功率的應用。4520有數字控制器，等離子體功率、溫度、壓力等參數都可以調節儲存。此蝕刻器通過通過以太網連接的PC控制,允許用戶友好的編程和板載配方開發。作為增加的安全功能，LAM RESEARCH 4520有一個集成的安全系統，可以在觸發警報時遠程關閉設備。4520有一系列改進蝕刻工藝的配件，包括遠程診斷工具、惰性氣體再循環機和自動晶圓傳輸工具。此外,資產還具有自動端點檢測模型,以確保晶圓處理的一致性和可重復的結果。LAM RESEARCH 4520利用鹵素或氮基等離子體化學進行蝕刻。它具有多種可以蝕刻的材料，包括聚合物、SiO2、Si3N4、PECVD層和金屬層。該設備還能以每分鐘1000埃的速率蝕刻銅。除蝕刻能力外，4520還可用於高長寬比和各向異性蝕刻。它還提供了背面研磨和挖溝功能，可用於改進設備處理。總體而言，LAM RESEARCH 4520是一個靈活可靠的蝕刻/asher系統，是生產質量最高的半導體器件的理想選擇。此設備強大且用戶友好,確保了可重復和一致的結果,非常適合大批量生產應用程序。