二手 LAM RESEARCH 4520 #9145859 待售
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LAM RESEARCH 4520 蝕刻器/asher是一種先進的加工設備，適合工業使用。它能夠在單個工藝室內使用一系列材料進行蝕刻、平面化和灰化,從而提高生產吞吐量和提高工藝靈活性。4520的容量為24個400mm晶圓載流子，同時具備化學和幹法加工能力。對於化學加工，用戶可以從IPA、KOH和TMAH等多種液體中進行選擇，而對於幹燥加工，LAM RESEARCH 4520可以與N2和O2一起使用。4520是使用模塊化控制設備（MCS）構建的,它允許用戶從計算機控制過程參數。這允許高級流程優化,並減少了手動幹預的需要。LAM RESEARCH 4520還具有旨在保護人員的高級安全功能。它有一個防止室內超壓情況的壓力限制室系統和一個防止室內熱量積聚並減少火災危險的熱斷裂裝置。4520還配備了自動泄漏檢測機,其設計目的是在工具中的任何泄漏物失控之前對其進行檢測。在性能方面，LAM RESEARCH 4520在連續20個晶圓中具有廣泛的蝕刻速率和± 5%以內的可重復性。既適用於小批量生產，也適用於大批量生產，可用於加工直徑範圍在100毫米至200毫米之間的晶片。它還擁有較長的平均失敗率，這使得它非常適合連續、不間斷的操作。總體而言,4520 蝕刻器/asher是一種高性能、工業級的加工設備,能夠對一系列材料進行蝕刻、平面化和灰化。其能力使其適合大批量生產，先進的安全特性確保人員安全。
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