二手 LAM RESEARCH 4520 #9167744 待售
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單擊可縮放
已售出
ID: 9167744
Oxide etchers, 8"
With auto load tape
Tool type: R/B 4520
Bulkhead
Short frame
Indexer type:
Send: Standard
Receive: SAMSUNG (SW2-Mco5086)
Control system
Envision
Remote AC box, P/N: 685-029442-031
ADVANCED ENERGY PDW-2200 Generator
Autotune
Ceramic ESC
Clamped system: ESC
Upgraded variable gap: Optical
Monochrometer: Dual
Dual monochrometer: Single
Upgraded load station
AC Box, P/N: 853-017200-002
Orbital (Extend)
MFC #1 / UFC-8160, Ar / 1 slm
MFC #2 / CF4 / 100 sccm
MFC #3 / CF3 / 50 sccm
MFC #4 / N2 / 200 sccm
MFC #5 / OZ / 30 sccm
MFC #6 / Ar / 200 sccm
Helium cooling: V90, V92
Connectors: Plastic type
Heartbeat PCB, P/N: 810-017012-002
Bulkhead / Ballroom components
Covers
Indexers
Load station
ELL
Gap drive system
Chamber
XLL
Gas box
AC / DC Box
Control enclosure
Generator cart / On board
Upper and lower match enclosure
Pressure control
Operating system
PLC and Signal tower: 3-Colors.
LAM RESEARCH 4520是一種堅固可靠的先進反應堆蝕刻器/粉碎器,用於技術過程。其創新的設計提供了高性能蝕刻和深層反應性離子蝕刻（RIE），是深層溝槽蝕刻、雙大馬士革蝕刻、接觸孔蝕刻等多種蝕刻工藝的理想選擇。蝕刻器/asher具有模塊化設計、多個過程室和高靈活性,允許用戶擴展其晶圓集成過程,而無需進行額外的系統重新設計。它具有緊湊的占地面積,易於安裝並適合大多數清潔室配置。該蝕刻器/asher具有精確的過程控制能力和智能硬件能力，有效地自動化了嚴格的過程。它支持雙運行功能,並支持負載鎖定克隆,以最大程度地減少熱量預算並延長運行時間。4520的氣體控制單元集成了全方位的診斷分析軟件，提供精確的溫度和壓力調節。它配備了一個先進、強大的控制系統，由加熱的管線和電極設計，以及一個自我診斷的錯誤系統，確保設備的高可靠性。LAM LAM RESEARCH 4520的等離子體源由最先進的電源供電，工作效率高，等離子體密度高。它可以在蝕刻過程中達到高選擇性，並保留有圖案的蒙版的輪廓。該反應器具有良好的蝕刻均勻性和極好的階梯覆蓋範圍，而且成本最低的工藝過度蝕刻和邊緣串珠。LAM 4520是一款非常先進的蝕刻器/asher,可完善任何蝕刻或灰化工藝。它為用戶提供了完全精確的控制和自動化、靈活的集成過程和高可靠性，從而實現了最佳的晶圓處理性能。
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