二手 LAM RESEARCH 4520 #9189989 待售

LAM RESEARCH 4520是一種蝕刻器或灰化器，其中等離子體或氣體取代了傳統蝕刻或灰化過程中使用的液體或糊狀化學品。該設備主要用於半導體器件的制造和測試。它是一個垂直系統，通常寬24「至30」，包括蝕刻室、真空室和輔助設備。它一般完全由不銹鋼或鋁合金構成，以便在操作過程中保持潔凈的房間環境。蝕刻室有一個淋浴頭式射頻配電裝置，最高可運行200V。這是一個等離子體流的動力，它面對和蝕刻晶圓的表面。真空室緊鄰蝕刻室。它可以通過使用渦輪分子泵維持在低至10 mT的內部壓力。使用4520，可以實現廣泛的蝕刻化學。氣體輔助模式提高了蝕刻光刻膜的蝕刻效率，可變電壓能力也提高了。蝕刻室專門使用一種或多種CxF6（六氟丙烯氣體）氣體，與各種其他蝕刻氣體混合，具體取決於具體工藝。LAM RESEARCH 4520具有多重極性和片狀磁場配置，允許操作員控制蝕刻的形狀。氣體流量計和傳感器以及各種各樣的溫度和濕度傳感器和控制系統被用於精確控制工藝參數。4520可配置多個工藝工具和各種隔離區域,以允許同時蝕刻多個晶圓類型或模具。此外，顯示接口、氣體混合和輸送系統、晶圓載體、百葉窗和真空系統都是為電路測試和成像要求而設計的。該單元提供對過程變量的精確控制，以確保可重復的結果，並已證明非常可靠和精確。LAM RESEARCH 4520模型具有良好的工藝控制和可重復的效果，在半導體工業中得到了廣泛的應用。4520憑借其出色的等離子體生成和精密的控制機器，是半導體制造過程中蝕刻和灰化的可靠且經濟高效的工具。