二手 LAM RESEARCH 4520 #9243876 待售

LAM RESEARCH 4520 Asher是一種物理氣相沈積（PVD）蝕刻器，旨在生產具有高度均勻性和性能的產品。該設備能夠進行蝕刻、微加工和薄膜沈積工藝。它是半導體加工所需的亞微米特性的經濟高效工具。4520 Asher具有獨特的特性，允許蝕刻和薄膜沈積過程之間快速過渡，優化生產周期時間。它具有先進的工藝室設計，在大晶圓尺寸上提供快速的處理時間和均勻性。整個蝕刻過程完全閉環幹濕。LAM RESEARCH 4520 Asher具有雙噴嘴系統，允許各向異性或逐層沈積沈積，以及非受控蝕刻。這使得它對於需要大量精度和控制的蝕刻過程特別有用。該單元可以在一次運行中處理直徑最大為8英寸、厚度最大為1英寸的多個晶片。4520 Asher是一種強大可靠的工具,可提供可重復、可靠的結果。它具有較高的工藝速度和廣泛的工藝選項,使用戶能夠快速、準確地蝕刻所需的產品。這臺機器設計用於處理一系列低端產品,如橫向場隔離和門切,直至最復雜的FEOL結構。LAM RESEARCH 4520 Asher為操作員提供全面的流程支持,包括全面的配方開發和監控,以及全面的車載掃描和診斷功能。此外,它還包括一些附加功能（如3D成像功能）,以及一系列自動化功能（如自動命名和跟蹤功能）。總而言之，4520 Asher是一種強大可靠的蝕刻和薄膜沈積工具，能夠滿足廣泛的蝕刻、薄膜沈積和微制造產品要求。此資產旨在提供可重復和可靠的結果,適用於各種生產環境。