二手 LAM RESEARCH 4520 #9389918 待售

LAM RESEARCH 4520是一個集群平臺蝕刻器/asher，旨在提供半導體器件制造所需的精度、速度和質量控制。該設備由多個具有先進腔室控制系統和集成質量流控制器的高精度蝕刻和灰化腔室組成。4520旨在提供極快的吞吐量和可靠性，具有並行處理能力和高溫處理。LAM RESEARCH 4520 蝕刻器/asher具有三個高級蝕刻和灰化室,每個蝕刻和灰化室針對不同的加工類型進行優化。等離子體蝕刻室設計用於晶圓的等離子體清洗、樣品預處理、蝕刻和灰化。它能夠處理直徑最大為5英寸的晶片，並配有變頻驅動器，用於精確控制工藝參數。超高密度腔室是晶圓超高密度蝕刻和灰化的理想選擇，能夠處理直徑達8英寸的晶圓。它還配備了一系列先進的集成組件，用於精確的過程控制。最後，濕蝕刻室提供高精度的濕蝕刻和灰化，並配有集成層流控制器、溫度控制器和壓力傳感器。4520上的蝕刻和灰化過程由一系列先進的組件控制，包括基於西門子Simatic S7的PLC，提供對工藝參數的精確控制。還集成了一個先進的工藝控制器，實時監測溫度、時間、壓力和反應條件，並提供了最大精度、精度和產量的自動工藝優化。該裝置還具有先進的質量流控制器，可確保對進料氣體和活性物質的精確控制，為每個蝕刻/灰分循環提供穩定的工藝參數。該機還配備了多種診斷工具，如低溫掃描電子顯微鏡、X射線光電子光譜、殘留氣體分析儀和表面剖面儀。這些工具提供了對蝕刻/灰燼工藝的精確控制,從而能夠準確控制工藝參數,並能夠監視和排除任何工藝問題。LAM RESEARCH 4520專為極端可靠性和高溫處理而設計,提供高級功能,包括多個晶片的並行處理和配方存儲,以便於召回過程步驟。該工具還配備了高級流程控制軟件包，該軟件包提供基於配方的自動流程控制，以及優化資產的用戶友好界面。此外,4520還包括一系列高級安全功能,包括一種維護模式,即使在工藝步驟失敗時也能安全操作模型。總體而言，LAM RESEARCH 4520是一種先進、可靠的蝕刻和灰化設備，是半導體器件制造的理想選擇。它提供極快的吞吐量和可靠性，對工藝參數進行精確的控制和先進的診斷，使其成為實現最大精度和產量的寶貴工具。