二手 LAM RESEARCH 4520 #9389919 待售

LAM RESEARCH 4520 蝕刻器/asher是一款最先進的設備,專為在蝕刻和灰化應用中提供卓越的性能而設計。4520用於半導體加工，為各種應用提供可靠、可重復的結果。蝕刻器/asher具有一個20英寸乘12英寸的大型工作室,即使是大型基板也能輕松容納。它配備了先進的、用戶控制的工藝參數，以確保所使用的特定蝕刻或灰化工藝能夠達到最理想的條件。溫度控制被調節到設定點的± 0.5 °C以內，從而能夠獲得準確和可重現的結果。LAM RESEARCH 4520還采用了緊湊、節能的設計,包括高級選項,如熱邊機器人處理和具有數據記錄功能的遠程過程監控。它通過利用射頻等離子體源和完全可調節的閉環反饋控制來實現可重復、高質量的過程,在整個基板上提供準確、一致的蝕刻均勻性。為了增強安全性，它配備了真空排氣監控器、屏蔽墻等多項安全功能，以防止電氣危害，以及在運行過程中防止開門不當的聯鎖裝置。此外,4520還具有可更換、耐用的304級不銹鋼內飾,便於清潔和延長使用壽命。LAM RESEARCH 4520除了易於使用和維護外，還與一系列工藝氣體和液體前體兼容。非常適合深蝕刻、灰化、RIE工藝等應用，以及特定的底物如碳化矽、砷化氙、氮化銨、二硫化銨等多種用途。總體而言,4520 蝕刻器/asher是一款出色的設備,能夠以用戶友好的方式提供可重復、一致的結果,用於一系列蝕刻和研磨過程。其先進的特性、卓越的溫度控制和節能設計使其成為需要高效、可靠的表面處理操作的實驗室和行業的理想選擇。