二手 LAM RESEARCH 4520 #9401524 待售

LAM RESEARCH 4520是一款高性能蝕刻器/asher。它是一個為生產而設計的單晶片垂直反應性離子蝕刻器和Asher（VRIEA）系統。該系統利用電源和化學材料的專門組合來創建一致和可重復的過程，從而提供高精度的蝕刻和灰化結果。4520具有廣泛的不同過程。它具有幹凈、厚實的幹蝕刻工藝、可選集成的灰化器,並且具有熱性能。它還具有用於配方設置、數據收集和管理以及系統診斷的高級界面。這樣可以實現廣泛的流程靈活性和自定義配置。LAM RESEARCH 4520專為各種晶片尺寸而設計。它與1-6英寸的晶片兼容,能夠從NMOS、PMOS或氧化物類型的材料中獲得厚度。它具有狹窄、均勻的蝕刻,可最大程度地減少臨界尺寸,精度為+/-0.25微米。4520利用等離子體電源和化學裝置實現所需的蝕刻和灰化工藝。其氣體混合物是針對每種工藝量身定制的，可以配置成多種組合。其高頻可變功率發電機確保了一個統一和一致的過程。LAM RESEARCH 4520還包括一個高級軟件應用程序來幫助管理蝕刻和灰化過程。此軟件可幫助在蝕刻配方中創建順序步驟,收集生產數據並查看工藝參數。它還可以幫助對蝕刻過程進行故障排除和自動化。通用的4520專為生產當今最小、最具挑戰性的產品而設計。其集成的軟件和先進的工藝使其非常適合高精度蝕刻和灰化。它可以提供所需的重復性和統一性，以確保取得最佳結果。