二手 LAM RESEARCH 4520B #9278088 待售

LAM RESEARCH 4520B Etcher/Asher是一種用於半導體器件制造的高性能、3個腔室、直列式asher/etcher。4520B有一個獨特的獨立的滑動載荷鎖，它為單個腔室的使用、溫度、壓力和配方開發提供了靈活性。蝕刻器/asher完全配置了安全系統,並具有內置的自我診斷功能。它旨在提供可靠的高產設備，並具有平穩統一的處理能力。LAM RESEARCH 4520B Etcher/Asher的平面設計緊湊,最多可同時容納三個加工室,占用空間最小,並且易於提供通信接口。該蝕刻器具有主動均勻性控制技術、專用等離子體源和先進的氣體輸送設備。4520B的三個加工室，一個asher，一個恒溫或可編程的溫度蝕刻器，以及可互換的濕潤，使用戶能夠優化不同的參數，如要蝕刻的材料，溫度和壓力，等離子體功率，蝕刻均勻性，以達到最優的吞吐量和產量。LAM RESEARCH 4520B Etcher/Asher具有精確的可記錄配方控制功能,用戶可以快速輕松地復制精確的流程。它內置支持室一級和配方一級的質量控制，並具有用於配方優化和腔室性能的實時腔室診斷系統。此外，它還提供各種工藝參數，包括溫度、壓力和氣流，並對各個腔室進行精確控制。此外，4520B還配備了高效的安全功能，包括氣體安全殼、室內關閉、自動壓力控制單元和照明機器。它還提供免提端點檢測，方便資源共享，用戶可以實時監控所有可用的工藝參數，包括晶圓到晶圓的可重復性。總體而言，LAM RESEARCH 4520B Etcher/Asher是所有半導體器件制造的理想解決方案。它配備了高效的安全功能，並提供精確的控制，為統一的設備處理提供精確的配方執行。