二手 LAM RESEARCH 4520i #9130287 待售

LAM RESEARCH 4520i是一款蝕刻器/asher，旨在提供超高長寬比蝕刻工藝。這款蝕刻器/asher是一款緊湊的高溫設備，適用於廣泛的應用，如半導體模具封裝。4520i工藝分別在225°C和180°C下進行蝕刻和粉刷應用。該系統配備了專利的多缺口ECR蝕刻器，具有卓越的高縱橫比蝕刻特性。多槽蝕刻器由兩個主要部分組成：一個是在蝕刻室中磁化的氣體分布線圈，另一個是作為蝕刻點的兩個陶瓷噴嘴。氣體分布線圈產生均勻的蝕刻氣體羽流，以提供一致的過程。陶瓷噴嘴產生了一系列小的蝕刻離子，這些離子聚焦在基板上進行深蝕刻。LAM RESEARCH 4520i利用高速微控制器為基礎的控制單元，允許各種功率、溫度和壓力設置易於調整。蝕刻過程由提供過程自動化和數據記錄功能的可編程邏輯控制器（PLC）保護。空氣過濾機還保證了清潔操作。選擇4520i的好處包括成本效益、卓越的精度、高分辨率和高通量。LAM RESEARCH 4520i憑借其可變蝕刻面積、廣泛的蝕刻深度和層層蝕刻能力，可以處理最苛刻的要求。4520i允許通過孔和其他模式對較小的零件進行蝕刻,從而提供了卓越的工藝控制,徑流最小,產量高。最後,高精度的自動化控制工具和監控功能使LAM RESEARCH 4520i成為蝕刻和灰化應用的有效工具。