二手 LAM RESEARCH 4520i #9188609 待售
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LAM RESEARCH 4520i Etcher/Asher是一種先進的晶圓蝕刻和晶圓灰化集成機器。該系統高度可定制,能夠為各種應用產生最佳的蝕刻和灰分結果。4520i專為復雜晶片結構(包括III-V、矽和MEMS材料)的高精度蝕刻和粉刷而設計,具有卓越的精度和工藝重復性。專為縮短循環時間,提高成品產量而設計。該機配備了先進的等離子體輸送系統,允許使用高功率的等離子體源,提供最佳蝕刻和灰分結果。蝕刻過程由專有軟件包控制,該軟件包可針對不同的蝕刻需求進行調整。該機器還具有先進的自我清潔功能,確保可重復和一致的結果能夠得到保證。最後,該機具有獨特的,原位溫度測量,以精確控制蝕刻深度,同時還提供在蝕刻和灰化過程中監控的能力。簡而言之,LAM RESEARCH 4520i是復雜晶片結構蝕刻和灰化的理想解決方案,精度和可重復性都很高,一定能提供高保真度的結果。
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