二手 LAM RESEARCH 4520i #9226619 待售

LAM RESEARCH 4520i是一款最先進、超精確的等離子體蝕刻器/asher，旨在處理最苛刻和精確的蝕刻要求。這種革命性的工具提供晶圓級精密蝕刻,可選擇3或4面蝕刻和可選的多軸蝕刻。4520i采用實時閉環蝕刻引擎,可實現過程中控制和過程穩定性。這就導致了高質量的蝕刻，幾乎沒有工藝缺陷。LAM RESEARCH 4520i具有廣泛的特點，設計用於晶圓和基板的精密蝕刻和灰化，包括多模式工藝室，允許增強工藝控制和提高工藝穩定性。腔室設計提供出色的均勻性和可重復性，對多種基材高度靈活，真空性能突出，顆粒水平低。蝕刻器可以實現高精度，具有廣泛的分辨率選項，達到± 0.5微米的精度。先進的4520i系統體系結構允許操作人員靈活的過程控制和數據采集方便地使用。直觀的圖形用戶界面有助於流程參數的設置和操作,以及流程運行的數據日誌記錄。該單元還配備了基於配方的編程功能，允許未來開發特定流程獨有的定制配方。LAM RESEARCH 4520i是一個可靠高效的等離子體蝕刻器/灰燼系統，提供一致、高質量的蝕刻工藝，以獲得最佳的器件產量。該系統具有先進的功能、多功能性和廣泛的工藝選項,是研發和小批量生產應用的理想選擇。集成的硬件和軟件提供了全面的過程控制,並確保了高收益率,使4520i成為需要經濟高效、高精度蝕刻器/asher的用戶的理想選擇。