二手 LAM RESEARCH 4520i #9233410 待售

LAM RESEARCH 4520i是一款用於半導體應用的先進蝕刻/asher設備。它旨在提供高均勻性、精密蝕刻和灰化工藝。該系統具有高真空、Peltier冷卻、射頻驅動的等離子體生成模塊，非常適合需要緊密濃度等離子體特性的關鍵過程。這一特點使得它適合於使用過程，如對薄膜和基板進行蝕刻。4520i有一個車載控制器，為用戶提供一個自定義和調整設備設置的界面。它還具有較大的腔室尺寸和自動基板和掩模載荷，便於提高吞吐量，這一特性在半導體生產中特別有用。它的電極被設計成提供一個強大的等離子體，使精確和快速蝕刻速率與低能耗。此外，它還具有低溫操作功能，可提高蝕刻安全性。該裝置還提供各種標準的蝕刻後操作和真空過程，包括冷卻和徹底去除。這樣可以提高蝕刻過程的靈活性,並減少雇用額外技術人員的需要。此外，蝕刻和灰化機帶有先進的硬件和軟件，使整個過程更易於控制和管理。總之,LAM RESEARCH 4520i是一種非常先進的蝕刻/灰化工具,為用戶提供高精度和均勻性,以及一系列標準的蝕刻後工藝和真空工藝。它非常適合於關鍵過程,例如對薄膜和基板進行蝕刻,其板載控制器為用戶提供了對該過程的更多控制。它還提供了一個大腔室大小和自動基板和面罩加載。所有這些特性使得4520i成為大批量生產和精密蝕刻工藝的絕佳資產。