二手 LAM RESEARCH 4520i #9292701 待售

LAM RESEARCH 4520i是一種先進的半導體器件制造蝕刻器/灰化器。該設備采用等離子體輔助各向同性蝕刻工藝。適合於特征尺寸減小、平面度增強、B環去除、氣體隔離層形成、重分布層圖樣、線緣成形、鈍化層圖樣等蝕刻應用。4520i具有低壓電容耦合等離子體源,提供卓越的不均勻控制、均勻性和過程重復性。它配備了允許直流運行的高密度射頻發電機以及用於版本偏置控制的低頻輔助電源。先進的工藝控制設備優化晶圓吞吐量和工藝參數。蝕刻系統能夠在分鐘內以高達1.2微米的速率進行蝕刻，並且能夠支持高達100 nm的溝槽蝕刻應用。LAM RESEARCH 4520i具有氣體診斷和高級聯鎖等多項安全功能,確保設備全天候安全運行。先進的邊緣保護機降低了晶圓斷裂的風險。該工具的設計具有靈活性和可擴展性,可以進行修改以適應新的和高級的流程。該資產與Ar/NF3/C4F8、CHF3/CF4、NF3/O2和O2/CHF3/CF4等物質來源兼容。4520i包含一個工具自動化軟件,該軟件可同時進行多工具控制以及過程參數/配方編輯。該模型致力於幫助用戶以最小的缺陷和優異的流程可重復性實現最高的吞吐量。先進的運行結束檢測允許及時收集SPC數據以獲得最佳晶圓結果。LAM RESEARCH 4520i是一款可靠可靠的機器，為用戶提供了蝕刻和灰燼工藝的最高精度和精確度。蝕刻器/asher易於安裝和維護,為用戶提供了一個高度自動化的過程,並具有可靠、可重復的結果。