二手 LAM RESEARCH 4520i #9399005 待售

LAM RESEARCH 4520i是為生產電子和光電元件而設計的先進Etcher/Asher設備。該系統是一種復雜、靈活、高通量的工具,可提供卓越的蝕刻/灰化功能和優異的效果。利用更精確的目標離子傳遞精確的蝕刻圖樣，同時減少蝕刻時間和灰度時間，從而取得優異的效果。4520i配備了單一的高電流雙離子槍設計,在存在廣泛的材料和蝕刻化學物質的情況下,可提供更好的10,000A/cm2蝕刻速率。它的設計簡化了對齊，這是產生高質量蝕刻特征的關鍵，使設備能夠加工要求苛刻的基板，而不會將碎屑和微粒引入加工室。該機還具有長距離、高彈性的等離子體註入模塊,允許在低工藝壓力下運行,以最大程度地減少蝕刻和灰化引起的表面損壞。LAM RESEARCH 4520i是一個模塊化工具,允許根據需要對單個組件進行更改或升級,以保持最佳生產和適應新流程。該資產提供標準和定制基板處理,允許自動遍歷。這對於需要精確對準的非平面曲面和元件的沈積和蝕刻非常理想。其溫度控制模型能夠在蝕刻/灰分過程中對基板的不同點進行溫度調制。它還配備了最先進的壓力監視器,密切關註蝕刻和灰化壓力,以確保過程平穩、一致。4520i適用於電子行業細公差元件生產中廣泛的蝕刻和灰化應用。它是MEMS/NEMS、RF元件和光學元件的理想設備,需要精確蝕刻和灰化,並提供高度可靠和可重復的結果。對於要求高蝕刻/灰分速率、均勻性和準確性的苛刻生產應用來說,這是一個極好的選擇。